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광·전자박막Ⅰ연구실

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학과소개

■ 광·전자박막연구실 Ⅰ (Photonic and Electronic thin film laboratoryⅠ)

▷공대 6호관 316호 Tel : 530-0770 / 지도교수 : 이 병 택

▷주요연구분야
- GaN, ZnO, SiC 등 광전자 박막 성장, 소재공정, 특성평가 연구
- ICP-RIE를 이용한 ZnO, GaN, Al2O3, SiC 등 식각 특성평가
- 나노 임프린터를 이용한패턴 형성 연구
- 나노 구조 발광 소자 제작 및 특성평가

▷연구실소개
광·전자박막연구실은 GaN, ZnO, SiC등 넓은 띠 간격 광전자 반도체 박막재료의 sputter, MOCVD 성장, 나노 임프린터와 ICP-RIE 시스템을 이용한 나노 패터닝, 전자현미경, PL, Raman 등 광학적, 구조적 특성평가를 수행하고 있으며 이를 활용한 각종 광소자 제작에 대한 연구가 진행 중이다.